Прогрес у мікроелектроніці пов'язують зі зменшенням лінійних розмірів функціональних елементів. Якщо їхні розміри стають порядку нанометрів, то суттєвими є квантові ефекти, які принципово змінюють фізику роботи.
Створенням таких елементів та інтегральних квантових схем на їх основі займається нанотехнологія. У монографії викладено фізичні засади зондової нанотехнології на базі скануючих тунельних і атомно-силових мікроскопів, показано основні досягнення, обговорено проблеми, які потребують розв'язання.

Призначена для студентів старших курсів, аспірантів і молодих учених, які бажають познайомитися з новим науковим напрямком і спробувати свої сили в розвитку технології 21 століття.